Profiili mähkimismasina põhiprintsiip ja rakendus

Profiili mähkimismasin on seade, mis ühendab kolm funktsiooni: aurustuskatmine, profiili mähkimismasin ja plasma pihustuskatmine, et rahuldada klientide erinevaid eksperimentaalseid vajadusi. Plasma pihustamisega ei saa katta mitte ainult metallkilet, vaid ka süsiniku või muu metallelemendi kilet saab aurustamise teel.

Põhimõtteliselt on profiili mähkimismasin ka vaakumaurustuskate, mis nõuab kõrgvaakumkeskkonda ja mida kasutatakse peamiselt SEM-proovi katmiseks juhtiva kilega.

Profiili mähkimismasina põhiline töövoog: proovide paigutamine, seadmete paigaldamine, juhtmestik, ajastus, tolmuimemine, voolu reguleerimine, käivitamise ajastus ja katmise lõpetamine. Kuna profiili mähkimismasin hõlmab mitmesuguseid katmismeetodeid, peavad kasutajad erinevate funktsioonide kasutamisel kasutama oma juhtmeid.

Profiili mähkimismasin teostab profiili mähkimismasinat, vaakumkatmist ja ioonpihustamist. See võib teostada ka mitmesuguseid ioontöötlusi kõrge puhtusastmega argooni kaitse all. Profiili mähkimismasinaga töödeldud proovi saab kasutada nii proovi välimuse vaatlemiseks kui ka komponentide analüüsiks, eriti komponentide kvantitatiivseks analüüsiks.