Tirohanga: 87657 Kaituhi: Kaiwhakatika Pae Wā Whakaputa: 2021-05-22 Takenga: Pae
Ko te miihini takai kōtaha he taputapu e whakauru ana i nga mahi e toru o te paninga whakaetonga, te miihini takai kōtaha me te paninga plasma sputtering hei whakatutuki i nga hiahia whakamatautau rereke o nga kaihoko. Ehara i te mea ka taea te whakakikorua i te kiriata whakarewa ma te pupuhi plasma, engari he kiriata waro me etahi atu huānga whakarewa ka taea ma te whakaetonga.
Ko te tikanga, ko te miihini takai tohu he paninga whakaetonga korehau, e hiahiatia ana he taiao korehau teitei, ka whakamahia te nuinga ki te whakakakahu i te tauira SEM me te kiriata conductive.
Ko te rere mahi taketake o te miihini takai kōtaha: te whakatakoto tauira, te whakauru i nga taputapu, te waea waea, te wa, te whakamaarama, te whakatikatika o naianei, te wa tiimata, me te whakaotinga paninga. I te mea he maha nga tikanga whakakikorua i roto i te miihini takai kōtaha, me whakamahi nga kaiwhakamahi i a raatau ake waea ina whakamahi i nga mahi rereke.
Ka mahia e te miihini takai kōtaha te mīhini takai kōtaha, te paninga korehau me te pupuhi katote. Ka taea hoki e ia te mahi i nga momo maimoatanga katote i raro i te maru o te argon parakore teitei. Ko te tauira i tukatukahia e te miihini takai kōtaha ka taea te whakamahi mo te titiro ki te ahua o te tauira me te tātari waahanga, ina koa te tātari ine o nga waahanga.
