Tirohanga: 87657 Kaituhi: Kaiwhakatika Pae Wā Whakaputa: 2021-05-22 Takenga: Pae
Ko te miihini takai kōtaha he taputapu e whakauru ana i nga mahi e toru o te paninga whakaetonga, te miihini takai kōtaha me te paninga plasma sputtering hei whakatutuki i nga hiahia whakamatautau rereke o nga kaihoko. Ehara i te mea ka taea te whakakikorua i te kiriata whakarewa ma te pupuhi plasma, engari he kiriata waro, etahi atu huānga whakarewa ranei ka taea ma te whakaetonga.
Ko te tikanga, ko te miihini takai kotaha he paninga whakaetonga korehau, e hiahiatia ana he taiao korehau teitei, ka whakamahia te nuinga ki te whakakakahu i te tauira SEM me te kiriata conductive.
Ko te rere mahi taketake o te miihini takai kōtaha: te whakatakoto tauira, te whakauru i nga taputapu, te waea waea, te wa, te whakamaarama, te whakatikatika i te waa, te tiimata o te waa, me te whakaotinga paninga. I te mea kei roto i te miihini takai kōtaha nga momo momo momo whakakikorua, me whakamahi nga kaiwhakamahi i a raatau ake waea ina whakamahi ana i nga mahi rereke.
Ka mahia e te miihini takai kōtaha te mīhini takai kōtaha, te paninga korehau me te pupuhi katote. Ka taea hoki e ia te mahi i nga momo maimoatanga katote i raro i te maru o te argon parakore teitei. Ko te tauira i tukatukahia e te miihini takai kōtaha ka taea te whakamahi mo te tirohanga ahua o te tauira me te tātaritanga waahanga, ina koa te tātari ine o nga waahanga.
