Профильді орау машинасының негізгі принципі және қолданылуы

Профильді орау машинасы тұтынушылардың әртүрлі эксперименттік қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін булану жабыны, профильді орау машинасы және плазмалық шашыратқыш жабынның үш функциясын біріктіретін құрылғы болып табылады. Металл пленканы плазмалық шашырату арқылы жабуға ғана емес, сонымен қатар булану арқылы көміртекті немесе басқа металл элементінің қабығын алуға болады.

Негізінде профильді орау машинасы сонымен қатар жоғары вакуумдық ортаны қажет ететін вакуумды булану жабыны болып табылады және негізінен SEM үлгісін өткізгіш пленкамен жабу үшін қолданылады.

Профильді орау машинасының негізгі жұмыс ағымы: үлгілерді орналастыру, құрылғыларды орнату, сымдарды қосу, уақытты белгілеу, вакуумдау, токты реттеу, іске қосу уақыты және жабуды аяқтау. Профильді орау машинасы әртүрлі жабу әдістерін қамтитындықтан, пайдаланушылар әртүрлі функцияларды пайдаланған кезде өздерінің сымдарын пайдалануы керек.

Профильді орау машинасы профильді орау машинасын, вакуумды жабуды және ионды шашыратуды орындайды. Ол сонымен қатар жоғары таза аргонның қорғауында әртүрлі иондық өңдеулерді орындай алады. Профильді орау машинасымен өңделген үлгі үлгінің сыртқы түрін бақылау үшін де, құрамдас талдау үшін де, әсіресе компоненттердің сандық талдауы үшін де пайдаланылуы мүмкін.