Profilinnpakningsmaskinen er en enhet som integrerer tre funksjoner av fordampningsbelegg, profilinnpakningsmaskin og plasmasprutbelegg for å møte forskjellige eksperimentelle behov hos kundene. Ikke bare kan metallfilmen belegges ved plasmasputtering, men også en film av karbon eller annet metallelement kan oppnås ved fordampning.
I prinsippet er profilinnpakningsmaskinen også et vakuumfordampningsbelegg, som krever et høyvakuummiljø og brukes hovedsakelig til å belegge SEM-prøven med en ledende film.
Den grunnleggende operasjonsflyten til profilinnpakningsmaskinen: plassering av prøver, installasjon av enheter, ledninger, timing, støvsuging, justering av strøm, starttidspunkt og fullføring av belegg. Siden profilinnpakningsmaskinen involverer en rekke forskjellige belegningsmetoder, må brukerne bruke sine egne ledninger når de bruker forskjellige funksjoner.
Profilinnpakningsmaskinen utfører profilinnpakningsmaskin, vakuumbelegg og ionesputtering. Den kan også utføre en rekke ionebehandlinger under beskyttelse av høyrent argon. Prøven behandlet av profilinnpakningsmaskinen kan brukes til både utseendeobservasjon av prøven og komponentanalyse, spesielt den kvantitative analysen av komponentene.